小量程氣體流量計是一款質量流量計，既可以顯示體積流量，也可以顯示質量流量，用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

產品特點

高精度、重復性好，信號穩定。

數字信號，數據可以鏈接電腦數據導出。

預熱時間短、領漂小。

不受安裝方位的影響。

體積小、安裝簡單、使用方便。

接口定義

生產工廠