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? ? ? ? 科里奧利質(zhì)量流量計（Coriolis Mass Flow meter）可以對流體介質(zhì)的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的測量和精密的控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離

? ? ? ? 參考價格：￥10000元起
? ? ? ? 量程范圍：10SCCM~20SLM 零點漂移滿量程漂移：0.02%FS/℃/Atm 工作范圍/量程可調(diào)比：2%~100%FS/50：1 最大可測流量：100%FS

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