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? ? ? ? 幾乎所有的工業(yè)過程都使用壓縮空氣作為其能源之一。壓縮空氣作為一種可靠的能源形式，在整個工廠和車間都能很容易獲取和使用。但在測量電力消耗是一種常態(tài)時，同樣作為能源的壓縮空氣卻經(jīng)常沒有被測量和監(jiān)控。在管網(wǎng)中的任何一點(diǎn)都需要穩(wěn)定可靠的氣流，以保持工藝過程處于受控狀態(tài)。那么，就會用到壓縮空氣流量計進(jìn)行檢測。

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? ? ? ? 小量程氣體流量計是一款質(zhì)量流量計，既可以顯示體積流量，也可以顯示質(zhì)量流量，用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻

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? ? ? ? 微型氣體質(zhì)量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列的傳感器均采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低，易安裝，不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。產(chǎn)品實(shí)拍產(chǎn)品特點(diǎn)采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感